Разработка и изготовление вакуумного технологического оборудования

Мы специализируемся на разработке вакуумного лабораторного и исследовательского оборудования для микро и наноэлектроники.

Наша специализация в части узлов оборудования - вакуумная механика: вводы движения, манипуляторы, приводы, подложкодержатели, шлюзовые и загрузочные устройства.

Выполняем полный цикл разработки: от чертежей до изготовления и запуска оборудования, включая систему управления.